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超高压压力传感器的特点
作者:www.csppm.com来源:本站时间:2019/5/10 10:05:57
超高压压力传感器采用的是一种可以将压力变量转换为可以传送的具有可规范化输出信号的计量仪器,该传感器具有精度高,响应速度快,输出信号大等特点,并且可用于微小尺度爆压的测量。像我们熟悉的锰铜薄膜超高压力传感器,就是通过MEMS技术实现了敏感元件的微型化,使其适用于微小尺度装药爆轰压力的测量。

锰铜薄膜超高压力传感器敏感元件可在微小面积内实现大阻值,增大了传感器的输出信号,使其适用于测量超高压力的低压段,基底采用有机玻璃材料,使得冲击波在传播过程中阻抗匹配,避免了界面反射造成的计算误差;通过溅射实现了敏感元件4的薄膜化,可有效提高传感器的响应时间。锰铜薄膜超高压传感器主要用于测量冲击波或爆震波的压力,如小口径装药的爆震压力、轻气炮的冲击压力等。

锰铜薄膜超高压力传感器,包括基底,基底(基底包括元件和电极),敏感元件的电极连接输入端和输出端,敏感元件和电极的表面上粘贴一层有机绝缘薄膜;基底采用有机玻璃材料,有机绝缘薄膜选用聚四氟乙烯或聚酰亚胺;适用于1~50Gpa量程范围内微尺度爆轰或冲击产生的超高压力的测量。




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